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    產品中心
    Product center
    產品中心
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    生產運營平臺
    PRMS
    光刻膠管理系統

    產品概覽

    • 光阻頻繁更換
      產能需求日增、机台能力限制、车间控间有限,往往会搭配许多的机台限制
    • 依賴人工易疏漏
      以往光阻更換系統的核對方式,不论是表单记录或是barcode比对,操作的核心还是依靠人工
    • PRMS 系统

      通過管控機制與設計,可以有效避免光刻胶过期报废,或是人员换装光刻胶的误动作风险

    智能工具與豐富應用場景

    功能特點

    • 01
      — identical HW / SW —

      自主開發系統,具有高度客制能力

    • 02
      — big data analysis —

      可運用大數據分析管理,结合inline defect分析系统快速找到真因

    • 03
      —MO prevention —

      使用RFID定时定位,可以有效防止人员操作失误造成的风险

    • 04
      — cost reduction —

      通過縝密系統,可以有效运用,不会有过期或疏漏造成的impact

    優勢效果

    • 虛擬量測
    • 設備健康度監控
    • 圖像缺陷診斷
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